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1.

发明授权
PROCEDE D'IMPLANTATION D'IONS MONO- OU MULTICHARGES SUR UNE SURFACE D'UN OBJET A TRAITER ET INSTALLATION POUR LA MISE EN OEUVRE DE CE PROCEDE 有权

公开(公告)号：EP3453045B1

公开(公告)日：2019-07-31

申请号：EP18723406.7

申请日：2018-04-12

申请人： The Swatch Group Research and Development Ltd

发明人： VUILLE, Pierry , COCHAND, Roger , BAZIN, Jean-Luc , MIKO, Csilla , KOOL, Arne

IPC分类号： H01J27/00 , H01J37/02 , C23C14/48 , C03C23/00

2.

发明公开
PROCEDE D'IMPLANTATION D'IONS MONO- OU MULTICHARGES SUR UNE SURFACE D'UN OBJET A TRAITER ET INSTALLATION POUR LA MISE EN OEUVRE DE CE PROCEDE 审中-公开

公开(公告)号：EP3453045A1

公开(公告)日：2019-03-13

申请号：EP18723406.7

申请日：2018-04-12

申请人： The Swatch Group Research and Development Ltd

发明人： VUILLE, Pierry , COCHAND, Roger , BAZIN, Jean-Luc , MIKO, Csilla , KOOL, Arne

IPC分类号： H01J27/00 , H01J37/02 , C23C14/48 , C03C23/00

CPC分类号： C03C23/0055 , C23C14/48 , H01J37/026