发明授权
- 专利标题： POLISHING APPARATUS
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申请号： EP18202150.1申请日： 2018-10-23
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公开(公告)号： EP3476536B1公开(公告)日： 2022-12-28
- 发明人: KOBAYASHI, Kenichi , NAKANISHI, Masayuki , KASHIWAGI, Makoto , HOSHINA, Manao
- 专利权人： Ebara Corporation
- 当前专利权人： Ebara Corporation
- 当前专利权人地址： 11-1 Haneda Asahi-cho Ohta-ku Tokyo 144-8510 JP
- 代理机构： Emde, Eric
- 优先权： JP2017206648 20171025
- 主分类号： B24B7/22
- IPC分类号： B24B7/22 ; B24B37/10 ; B24B37/30 ; B24B21/00 ; B24B21/10 ; B24B21/08 ; B24B41/06 ; H01L21/687
公开/授权文献
- EP3476536A1 POLISHING APPARATUS 公开/授权日：2019-05-01
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