- 专利标题: HIGH DENSITY INTERCONNECT STRUCTURE AND ITS METHOD OF MANUFACTURE
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申请号: EP16907572.8申请日: 2016-06-30
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公开(公告)号: EP3479399B1公开(公告)日: 2024-07-17
- 专利权人: INTEL Corporation
- 当前专利权人: INTEL CORPORATION
- 当前专利权人地址: INTEL CORPORATION
- 代理机构: 2SPL Patentanwälte PartG mbB
- 国际申请: US2016040486 2016.06.30
- 国际公布: WO2018004619 2018.01.04
- 主分类号: H01L23/498
- IPC分类号: H01L23/498 ; H01L23/14 ; H01L23/31 ; H01L23/48
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