- 专利标题： APPARATUS AND METHOD FOR VACUUM DEPOSITION
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申请号： EP17752165.5申请日： 2017-07-27
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公开(公告)号： EP3523456A1公开(公告)日： 2019-08-14
- 发明人: PACE, Sergio , SILBERBERG, Eric , WILDERS, Dimitri , BONNEMANN, Rémy , GAOUYAT, Lucie
- 申请人： Arcelormittal
- 申请人地址： 24-26 Boulevard d'Avranches 1160 Luxembourg LU
- 专利权人： Arcelormittal
- 当前专利权人： Arcelormittal
- 当前专利权人地址： 24-26 Boulevard d'Avranches 1160 Luxembourg LU
- 代理机构： Plaisant, Sophie Marie
- 优先权： PCT/IB2016/054477 20160727
- 国际公布： WO2018020311 20180201
- 主分类号： C23C14/24
- IPC分类号： C23C14/24
公开/授权文献
- EP3523456B1 APPARATUS AND METHOD FOR VACUUM DEPOSITION 公开/授权日：2024-04-17
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