- 专利标题： DUAL MODE MOTION CONTROL SYSTEM AND METHOD FOR A PIEZO MOTOR
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申请号： EP18164871.8申请日： 2018-03-29
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公开(公告)号： EP3547529B1公开(公告)日： 2021-05-05
- 发明人: Culpi, William , Kneipp, Jérôme
- 专利权人： Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG
- 当前专利权人： Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG
- 当前专利权人地址： Auf der Römerstrasse 1 76228 Karlsruhe DE
- 代理机构： Parker, Andrew James
- 主分类号： H02N2/02
- IPC分类号： H02N2/02 ; H02N2/06 ; H02N2/14 ; H02N2/10
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