- 专利标题： HIGH PERFORMANCE MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS ACCELEROMETER WITH ELECTROSTATIC CONTROL OF PROOF MASS
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申请号： EP18722148.6申请日： 2018-04-24
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公开(公告)号： EP3615945A1公开(公告)日： 2020-03-04
- 发明人: ZOU, Xudong , SESHIA, Ashwin Arunkumar
- 申请人： Cambridge Enterprise Ltd.
- 申请人地址： The Old Schools Trinity Lane Cambridge, Cambridgeshire CB2 1TN GB
- 专利权人： Cambridge Enterprise Ltd.
- 当前专利权人： Cambridge Enterprise Ltd.
- 当前专利权人地址： The Old Schools Trinity Lane Cambridge, Cambridgeshire CB2 1TN GB
- 代理机构： Ponder, William Anthony John
- 优先权： GB201706740 20170427
- 国际公布： WO2018197860 20181101
- 主分类号： G01P15/097
- IPC分类号： G01P15/097 ; G01P21/00 ; G01P15/08
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