发明授权
- 专利标题： CYCLONE COLLECTOR
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申请号： EP18808720.9申请日： 2018-01-29
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公开(公告)号： EP3632571B1公开(公告)日： 2024-09-11
- 专利权人： Tokyo Electron Limited
- 当前专利权人： Tokyo Electron Limited
- 当前专利权人地址： 3-1 Akasaka 5-chome Minato-ku
- 代理机构： Hoffmann Eitle
- 优先权： JP 17108770 2017.05.31
- 国际申请： JP2018002617 2018.01.29
- 国际公布： WO2018220896 2018.12.06
- 主分类号： B04C5/04
- IPC分类号： B04C5/04 ; B04C9/00 ; B01D47/00 ; G01N1/02 ; G01N1/22
公开/授权文献
- EP3632571A1 CYCLONE COLLECTOR 公开/授权日：2020-04-08
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