- 专利标题： METHOD FOR DETERMINING A DISTANCE BETWEEN TWO BEAMLETS IN A MULTI-BEAMLET EXPOSURE APPARATUS
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申请号： EP19214475.6申请日： 2011-11-14
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公开(公告)号： EP3640968B1公开(公告)日： 2024-06-12
- 专利权人： ASML Netherlands B.V.
- 当前专利权人： ASML Netherlands B.V.
- 当前专利权人地址： P.O. Box 324
- 代理机构： ASML Netherlands B.V.
- 优先权： US 339610P 2010.11.13
- 分案原申请号： 11784636.0 2011.11.14
- 主分类号： H01J37/22
- IPC分类号： H01J37/22 ; H01J37/244 ; H01J37/317 ; H01J37/04 ; H01J37/304 ; B82Y10/00 ; B82Y40/00
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