- 专利标题: METHOD FOR CLOSED-LOOP MOTION CONTROL OF AN ULTRASONIC MOTOR
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申请号: EP18742807.3申请日: 2018-07-25
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公开(公告)号: EP3659250B1公开(公告)日: 2021-06-16
- 发明人: KOC, Burhanettin , DELIBAS, Bülent
- 专利权人: Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG
- 当前专利权人: Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG
- 当前专利权人地址: Auf der Römerstrasse 1 76228 Karlsruhe DE
- 代理机构: Grünecker Patent- und Rechtsanwälte PartG mbB
- 优先权: EP17183131 20170725
- 国际公布: WO2019020658 20190131
- 主分类号: H02N2/00
- IPC分类号: H02N2/00 ; H02N2/02
公开/授权文献
- EP3659250A1 METHOD FOR CLOSED-LOOP MOTION CONTROL OF AN ULTRASONIC MOTOR 公开/授权日:2020-06-03
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