- 专利标题： PLANARIZED MEMBRANE AND METHODS FOR SUBSTRATE PROCESSING SYSTEMS
-
申请号： EP18873683.9申请日： 2018-10-29
-
公开(公告)号： EP3706954A1公开(公告)日： 2020-09-16
- 发明人: TROJAN, Daniel Ray
- 申请人： Axus Technology, LLC
- 申请人地址： 7001 West Erie Street Suite 1 Chandler, AZ 85226 US
- 专利权人： Axus Technology, LLC
- 当前专利权人： Axus Technology, LLC
- 当前专利权人地址： 7001 West Erie Street Suite 1 Chandler, AZ 85226 US
- 代理机构： f & e patent
- 优先权： US201762582187P 20171106
- 国际公布： WO2019089467 20190509
- 主分类号： B24B37/00
- IPC分类号： B24B37/00 ; C23G1/00 ; H01J37/00 ; H01L21/00
信息查询
