公开(公告)号：EP4297930A1

公开(公告)日：2024-01-03

申请号：EP22760410.5

申请日：2022-02-24

申请人： Axus Technology, LLC

发明人： TROJAN, Daniel Ray ,  SHUGRUE, John Kevin

IPC分类号： B24B37/20 ,  B05B15/58 ,  B08B3/02 ,  B24B37/04 ,  H01L21/304

公开(公告)号：EP3706954A1

公开(公告)日：2020-09-16

申请号：EP18873683.9

申请日：2018-10-29

申请人： Axus Technology, LLC

发明人： TROJAN, Daniel Ray

IPC分类号： B24B37/00 ,  C23G1/00 ,  H01J37/00 ,  H01L21/00

公开(公告)号：EP3993951A1

公开(公告)日：2022-05-11

申请号：EP20834902.7

申请日：2020-06-26

申请人： Axus Technology, LLC

发明人： TROJAN, Daniel Ray ,  SHUGRUE, John Kevin

IPC分类号： B24B13/01 ,  B24B37/04 ,  B24B41/06 ,  B24B55/06 ,  B67C3/28

公开(公告)号：EP3616237A1

公开(公告)日：2020-03-04

申请号：EP18791930.3

申请日：2018-04-06

申请人： Axus Technology, LLC

发明人： TROJAN, Daniel Ray

IPC分类号： H01L21/673 ,  H01L21/677 ,  H01L21/683 ,  H01L21/68 ,  B24B37/10 ,  B24B37/27 ,  B24B37/34 ,  B24B41/00 ,  B24B7/22

公开(公告)号：EP4007676A1

公开(公告)日：2022-06-08

申请号：EP20849076.3

申请日：2020-07-29

申请人： Axus Technology, LLC

发明人： TROJAN, Daniel Ray

IPC分类号： B24B37/005 ,  G06T7/00

公开(公告)号：EP3924147A1

公开(公告)日：2021-12-22

申请号：EP20756338.8

申请日：2020-01-30

申请人： Axus Technology, LLC

发明人： TROJAN, Daniel Ray ,  DASCHBACH, William Manfred

IPC分类号： B24B37/27 ,  H01L21/304 ,  H01L21/306