- 专利标题： ELECTRICAL INSPECTION METHOD
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申请号： EP18881898.3申请日： 2018-11-09
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公开(公告)号： EP3715934B1公开(公告)日： 2024-04-24
- 专利权人： Hamamatsu Photonics K.K.
- 当前专利权人： Hamamatsu Photonics K.K.
- 当前专利权人地址： 1126-1, Ichino-cho Higashi-ku
- 代理机构： Boult Wade Tennant LLP
- 优先权： JP 2017226092 2017.11.24
- 国际申请： JP2018041734 2018.11.09
- 国际公布： WO2019102880 2019.05.31
- 主分类号： G02B26/00
- IPC分类号： G02B26/00 ; B81B3/00 ; B81C99/00 ; G01M11/00 ; G01R1/06 ; G01R31/28 ; H01L21/66 ; G01J3/26 ; G02B5/28 ; G01J3/02 ; G01J3/04 ; G01J3/06 ; G01J5/0802 ; G01J5/0875 ; G01J5/04 ; G01J5/06 ; G01J5/10 ; G01J3/12 ; G01R27/26 ; G01R31/26
公开/授权文献
- EP3715934A1 ELECTRICAL INSPECTION METHOD 公开/授权日：2020-09-30
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