- 专利标题： VERFAHREN ZUR KÜHLUNG VON TARGETS, SOWIE KÜHLVORRICHTUNG FÜR TARGETS
- 专利标题（英）： TARGET COOLING METHOD AND TARGET COOLING EQUIPMENT
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申请号： EP20000190.7申请日： 2020-05-18
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公开(公告)号： EP3761321A2公开(公告)日： 2021-01-06
- 发明人: Doege, Paul- Emmanuel , Mauerhofer, Eric , Zakalek, Paul , Baggemann, Johannes
- 申请人： Forschungszentrum Jülich GmbH
- 申请人地址： DE 52425 Jülich
- 优先权： DE102019004631 20190705
- 主分类号： G21G1/04
- IPC分类号： G21G1/04 ; G21K5/08 ; H05H6/00
摘要：
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Kühlung von Targets, sowie Kühlvorrichtung für Targets.
Erfindungsgemäß wird ein Verfahren zur Kühlung von Targets, bei dem ein Target auf der der Ioneneintrittsseite, gegenüber liegenden Seite zur Kühlung mit einem Kühlmittel in Kontakt gebracht wird zur Verfügung gestellt, bei dem als Wärmeleitmittel ein Flüssigmetall eingesetzt wird, welches bei der Betriebstemperatur des Targets flüssig ist, und das in Kontakt mit einem Kühlkörper steht.
Erfindungsgemäß wird ein Verfahren zur Kühlung von Targets, bei dem ein Target auf der der Ioneneintrittsseite, gegenüber liegenden Seite zur Kühlung mit einem Kühlmittel in Kontakt gebracht wird zur Verfügung gestellt, bei dem als Wärmeleitmittel ein Flüssigmetall eingesetzt wird, welches bei der Betriebstemperatur des Targets flüssig ist, und das in Kontakt mit einem Kühlkörper steht.
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