公开(公告)号：EP3761321A3

公开(公告)日：2021-03-17

申请号：EP20000190.7

申请日：2020-05-18

申请人： Forschungszentrum Jülich GmbH

发明人： Doege, Paul- Emmanuel ,  Mauerhofer, Eric ,  Zakalek, Paul ,  Baggemann, Johannes

IPC分类号： G21G1/04 ,  G21K5/08 ,  H05H6/00

摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Kühlung von Targets, sowie Kühlvorrichtung für Targets.
Erfindungsgemäß wird ein Verfahren zur Kühlung von Targets, bei dem ein Target auf der der Ioneneintrittsseite, gegenüber liegenden Seite zur Kühlung mit einem Kühlmittel in Kontakt gebracht wird zur Verfügung gestellt, bei dem als Wärmeleitmittel ein Flüssigmetall eingesetzt wird, welches bei der Betriebstemperatur des Targets flüssig ist, und das in Kontakt mit einem Kühlkörper steht.

公开(公告)号：EP3761321A2

公开(公告)日：2021-01-06

申请号：EP20000190.7

申请日：2020-05-18

申请人： Forschungszentrum Jülich GmbH

发明人： Doege, Paul- Emmanuel ,  Mauerhofer, Eric ,  Zakalek, Paul ,  Baggemann, Johannes

IPC分类号： G21G1/04 ,  G21K5/08 ,  H05H6/00

摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Kühlung von Targets, sowie Kühlvorrichtung für Targets.
Erfindungsgemäß wird ein Verfahren zur Kühlung von Targets, bei dem ein Target auf der der Ioneneintrittsseite, gegenüber liegenden Seite zur Kühlung mit einem Kühlmittel in Kontakt gebracht wird zur Verfügung gestellt, bei dem als Wärmeleitmittel ein Flüssigmetall eingesetzt wird, welches bei der Betriebstemperatur des Targets flüssig ist, und das in Kontakt mit einem Kühlkörper steht.