- 专利标题： GAS ANALYSIS WITH AN INVERTED MAGNETRON SOURCE
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申请号： EP19730606.1申请日： 2019-05-21
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公开(公告)号： EP3803934A1公开(公告)日： 2021-04-14
- 发明人: BRUCKER, Gerardo, A. , SWINNEY, Timothy, C. , PERCY, Clinton, L.
- 申请人： MKS Instruments, Inc.
- 申请人地址： US Andover, MA 01810 2 Tech Drive, Suite 201
- 代理机构： Appleyard Lees IP LLP
- 优先权： US201916397436 20190429
- 国际公布： WO2019231765 20191205
- 主分类号： H01J41/06
- IPC分类号： H01J41/06 ; G01M3/20
公开/授权文献
- EP3803934B1 GAS ANALYSIS WITH AN INVERTED MAGNETRON SOURCE 公开/授权日：2024-03-27
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