VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR ANALYSE EINER MEHRSCHICHTFOLIE
摘要:
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Bestimmung einer Schichtdicke in einer Mehrschichtfolie (10). Damit die Grenzflächen der einzelnen Schichten (10a, 10b, 10c) im Innern der Folie mit dem FD-OCT gut detektiert werden können, wird die Folie mit Immersionsfluid (50) zwischen zwei optischen Kontaktblöcken (11, 12) so eingebettet, dass keine Reflexionen an der Oberfläche der Folie entstehen, welche die Reflexionen an den inneren Grenzflächen übersteuern. Die Vorrichtung verwendet Kontaktblöcke in Form von Rollen (110, 120). Die Ein- und Auskopplung der Strahlung erfolgt axial über die erste Rolle (110) und einen Spiegel (4), welcher die Strahlung aus dem Innern dieser Rolle auf die zu messende Folie (10) lenkt.
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