- 专利标题: VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR ANALYSE EINER MEHRSCHICHTFOLIE
- 专利标题(英): DEVICE AND METHOD FOR ANALYZING MULTILAYER FILM
-
申请号: EP19206861.7申请日: 2019-11-04
-
公开(公告)号: EP3816573A1公开(公告)日: 2021-05-05
- 发明人: Hänggli, Markus , Hess, Hanspeter
- 申请人: Hch. Kündig & Cie. AG
- 申请人地址: CH 8630 Rüti/ZH Joweid Zentrum 11
- 代理机构: Intellectual Property Services GmbH
- 主分类号: G01B11/06
- IPC分类号: G01B11/06 ; G01B9/02 ; G01N21/86
摘要:
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Bestimmung einer Schichtdicke in einer Mehrschichtfolie (10). Damit die Grenzflächen der einzelnen Schichten (10a, 10b, 10c) im Innern der Folie mit dem FD-OCT gut detektiert werden können, wird die Folie mit Immersionsfluid (50) zwischen zwei optischen Kontaktblöcken (11, 12) so eingebettet, dass keine Reflexionen an der Oberfläche der Folie entstehen, welche die Reflexionen an den inneren Grenzflächen übersteuern. Die Vorrichtung verwendet Kontaktblöcke in Form von Rollen (110, 120). Die Ein- und Auskopplung der Strahlung erfolgt axial über die erste Rolle (110) und einen Spiegel (4), welcher die Strahlung aus dem Innern dieser Rolle auf die zu messende Folie (10) lenkt.
公开/授权文献
- EP3816573B1 VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR ANALYSE EINER MEHRSCHICHTFOLIE 公开/授权日:2023-07-26
信息查询