- 专利标题： PLASMA TREATMENT DEVICE, PLASMA TREATMENT METHOD, PROGRAM, AND MEMORY MEDIUM
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申请号： EP18924031.0申请日： 2018-12-21
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公开(公告)号： EP3817517B1公开(公告)日： 2024-08-14
- 专利权人： Canon Anelva Corporation
- 当前专利权人： Canon Anelva Corporation
- 当前专利权人地址： 2-5-1, Kurigi Asao-ku
- 代理机构： TBK
- 优先权： WO TJP2018024146 2018.06.26
- 国际申请： JP2018047319 2018.12.21
- 国际公布： WO2020003557 2020.01.02
- 主分类号： H05H1/46
- IPC分类号： H05H1/46 ; C23C14/34 ; H01L21/31 ; H01J37/32 ; H01J37/34
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