- 专利标题： METHOD OF GRINDING WORKPIECE
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申请号： EP20214584.3申请日： 2020-12-16
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公开(公告)号： EP3838483B1公开(公告)日： 2023-02-22
- 发明人: Sudo, Yujiro
- 专利权人： Disco Corporation
- 当前专利权人： Disco Corporation
- 当前专利权人地址： 13-11, Omori-Kita 2-chome, Ota-ku Tokyo 143-8580 JP
- 代理机构： Hoffmann Eitle
- 优先权： JP2019230813 20191220
- 主分类号： B24B27/00
- IPC分类号： B24B27/00 ; H01L21/67 ; B24B7/22 ; B24B41/00 ; B24B41/047 ; H01L21/02 ; H01L21/304 ; B28D5/02 ; B24D7/06 ; B23K26/00
公开/授权文献
- EP3838483A1 METHOD OF GRINDING WORKPIECE 公开/授权日：2021-06-23
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