发明授权
- 专利标题： ETCHING COMPOSITIONS
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申请号： EP19860312.8申请日： 2019-08-08
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公开(公告)号： EP3850123B1公开(公告)日： 2024-01-03
- 发明人: TAKAHASHI, Tomonori , GONZALEZ, Frank
- 专利权人： FUJIFILM Electronic Materials U.S.A, Inc.
- 当前专利权人： FUJIFILM Electronic Materials U.S.A, Inc.
- 当前专利权人地址： 80 Circuit Drive North Kingstown, Rhode Island 02852 US
- 代理机构： Fish & Richardson P.C.
- 优先权： US201862730043 P 20180912
- 国际公布： WO2020055529 20200319
- 主分类号： C23F1/26
- IPC分类号： C23F1/26 ; C23F1/44 ; C09K13/06 ; H01L21/311 ; H01L21/3213
公开/授权文献
- EP3850123A1 ETCHING COMPOSITIONS 公开/授权日：2021-07-21
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