- 专利标题: APPARATUS FOR HIGH PRESSURE CONNECTION
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申请号: EP19753328.4申请日: 2019-08-12
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公开(公告)号: EP3853512A1公开(公告)日: 2021-07-28
- 发明人: TEDROW, Jon, David , BESSEMS, David , CHEN, Wei-Hsun
- 申请人: ASML Netherlands B.V.
- 申请人地址: NL 5500 AH Veldhoven P.O. Box 324
- 代理机构: ASML Netherlands B.V.
- 优先权: US201862732845 P 20180918
- 国际公布: WO2020057859 20200326
- 主分类号: F16L25/00
- IPC分类号: F16L25/00 ; F16L13/04 ; H05G2/00
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