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公开(公告)号:EP3853512A1
公开(公告)日:2021-07-28
申请号:EP19753328.4
申请日:2019-08-12
申请人: ASML Netherlands B.V.
发明人: TEDROW, Jon, David , BESSEMS, David , CHEN, Wei-Hsun
IPC分类号: F16L25/00 , F16L13/04 , H05G2/00