- 专利标题: STAPELFÖRMIGES PHOTONISCHES III-V-HALBLEITERBAUELEMENT
- 专利标题(英): STACKED PHOTONIC III-V SEMI-CONDUCTOR MODULE
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申请号: EP21000073.3申请日: 2021-03-12
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公开(公告)号: EP3882983A1公开(公告)日: 2021-09-22
- 发明人: Fuhrmann, Daniel , Keller, Gregor , Strobl, Gerhard , Wächter, Clemens
- 申请人: AZUR SPACE Solar Power GmbH
- 申请人地址: DE 74072 Heilbronn Theresienstrasse 2
- 代理机构: Koch Müller Patentanwaltsgesellschaft mbH
- 优先权: DE102020001837 20200320
- 主分类号: H01L31/0216
- IPC分类号: H01L31/0216 ; H01L31/103 ; H01L29/861 ; H01L29/06 ; H01L23/29 ; H01L23/31 ; H01L29/20 ; H01L29/205
摘要:
Stapeiförmiges photonisches III-V-Halbleiterbauelement, aufweisend eine erste und eine zweite metallische Anschlusskontaktschicht, eine hochdotierte erste Halbleiterkontaktschicht, ein schwach dotiertes Absorptionsgebiet mit einer Schichtdicke von 80 µm - 2000 µm, wobei die erste Halbleiterkontaktschicht als Mesa-Struktur auf der Oberseite des Absorptionsgebiets ausgebildet ist, die Unterseite der ersten metallischen Anschlusskontaktschicht stoffschlüssig mit der Oberseite der ersten Halbleiterkontaktschicht verbunden ist und die zweite metallische Anschlusskontaktschicht unterhalb einer Unterseite des Absorptionsgebiets angeordnet ist, das stapelförmige photonische III-V-Halbleiterbauelement eine dotierte III-V-Halbleiterpassivierungsschicht aufweist, wobei die III-V-Halbleiterpassivierungsschicht in einem ersten Abstand von mindestens 0,2 µm oder von mindestens 20 µm zu der Mesa-Struktur der ersten Halbleiterkontaktschicht auf der Oberseite des Absorptionsgebiets angeordnet und mit der Oberseite des Absorptionsgebiets stoffschlüssig verbunden ist und sich eine Energiebandlücke des Absorptionsgebiets von einer Energiebandlücke der III-V-Halbleiterpassivierungsschicht unterscheidet.
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