- 专利标题： COMPOSITION AND METHOD FOR COBALT CMP
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申请号： EP19894172.6申请日： 2019-11-13
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公开(公告)号： EP3891237A1公开(公告)日： 2021-10-13
- 发明人: HUNG LOW, Fernando , KRAFT, Steven , IVANOV, Roman A. , GRUMBINE, Steven , WOLFF, Andrew
- 申请人： CMC Materials, Inc.
- 申请人地址： US Aurora, IL 60504 870 North Commons Drive
- 代理机构： Barker Brettell LLP
- 优先权： US201816208703 20181204
- 国际公布： WO2020117438 20200611
- 主分类号： C09G1/02
- IPC分类号： C09G1/02 ; C09K3/14 ; B24B37/005 ; B24B37/04 ; B24B57/02
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