发明公开
- 专利标题： FABRICATION OF A DEVICE
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申请号： EP20702717.8申请日： 2020-01-04
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公开(公告)号： EP3912192A1公开(公告)日： 2021-11-24
- 发明人: KALLAHER, Raymond Leonard , GRONIN, Sergei Vyatcheslavovich , GARDNER, Geoffrey Charles
- 申请人： Microsoft Technology Licensing, LLC
- 申请人地址： US Redmond, WA 98052-6399 One Microsoft Way
- 代理机构： CMS Cameron McKenna Nabarro Olswang LLP
- 优先权： US201916252237 20190118
- 国际公布： WO2020150020 20200723
- 主分类号： H01L27/18
- IPC分类号： H01L27/18 ; B82Y10/00 ; B82Y40/00 ; C23C14/18 ; G06N10/00 ; H01L39/22 ; H01L39/24
公开/授权文献
- EP3912192B1 FABRICATION OF A DEVICE 公开/授权日：2023-07-12
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