- 专利标题： METHOD OF FORMING MOISTURE AND OXYGEN BARRIER COATINGS
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申请号： EP19912156.7申请日： 2019-11-18
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公开(公告)号： EP3914750A1公开(公告)日： 2021-12-01
- 发明人: BAJAJ, Geetika , THAKARE, Darshan , GORADIA, Prerna Sonthalia , GANAPATHIAPPAN, Sivapackia , BRITZ, David
- 申请人： Applied Materials, Inc.
- 申请人地址： US Santa Clara, California 95054 3050 Bowers Avenue
- 代理机构： Zimmermann & Partner Patentanwälte mbB
- 优先权： IN201941003143 20190125
- 国际公布： WO2020154023 20200730
- 主分类号： C23C16/455
- IPC分类号： C23C16/455 ; C23C16/56 ; C23C16/02 ; C23C16/40 ; C23C16/34 ; C23C16/448
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