公开(公告)号：EP4292122A1

公开(公告)日：2023-12-20

申请号：EP22753396.5

申请日：2022-02-11

申请人： Applied Materials, Inc.

发明人： BAJAJ, Geetika ,  GORADIA, Prerna Sonthalia ,  GANGULI, Seshadri ,  GANDIKOTA, Srinivas ,  VISSER, Robert Jan ,  RENGARAJAN, Suraj

IPC分类号： H01L21/02 ,  C23C16/40 ,  C23C16/455 ,  C23C16/56

公开(公告)号：EP4028572A1

公开(公告)日：2022-07-20

申请号：EP20863668.8

申请日：2020-07-28

申请人： Applied Materials, Inc.

发明人： BAJAJ, Geetika ,  PAREEK, Yogita ,  GORADIA, Prerna Sonthalia ,  KADAM, Ankur

IPC分类号： C23C16/44 ,  C23C16/40 ,  C23C16/455 ,  C23C16/02

公开(公告)号：EP4010916A1

公开(公告)日：2022-06-15

申请号：EP20851743.3

申请日：2020-06-22

申请人： Applied Materials, Inc.

发明人： BAJAJ, Geetika ,  PAREEK, Yogita ,  THAKARE, Darshan ,  GORADIA, Prerna Sonthalia ,  KADAM, Ankur ,  PAPKE, Kevin A.

IPC分类号： H01J37/32 ,  C23C28/00 ,  C23C16/44

公开(公告)号：EP4196624A1

公开(公告)日：2023-06-21

申请号：EP21856619.8

申请日：2021-08-11

申请人： Applied Materials, Inc.

发明人： BAJAJ, Geetika ,  THAKARE, Darshan ,  GORADIA, Prerna ,  VISSER, Robert Jan ,  YANG, Yixiong ,  WRENCH, Jacqueline S. ,  GANDIKOTA, Srinivas

IPC分类号： C23C16/18 ,  C23C16/455 ,  H01L21/28 ,  H01L21/285 ,  H01L29/49 ,  C07F7/28 ,  C07F5/06 ,  C07F7/08

公开(公告)号：EP3914750A1

公开(公告)日：2021-12-01

申请号：EP19912156.7

申请日：2019-11-18

申请人： Applied Materials, Inc.

发明人： BAJAJ, Geetika ,  THAKARE, Darshan ,  GORADIA, Prerna Sonthalia ,  GANAPATHIAPPAN, Sivapackia ,  BRITZ, David

IPC分类号： C23C16/455 ,  C23C16/56 ,  C23C16/02 ,  C23C16/40 ,  C23C16/34 ,  C23C16/448