SEMICONDUCTOR STRUCTURE AND METHOD

发明公开

EP3959743A1 SEMICONDUCTOR STRUCTURE AND METHOD 审中-公开

专利标题： SEMICONDUCTOR STRUCTURE AND METHOD
申请号： EP20724885.7

申请日： 2020-04-23
公开(公告)号： EP3959743A1

公开(公告)日： 2022-03-02
发明人: LAUKKANEN, Pekka , LEHTIÖ, Juha-Pekka , JAHANSHAH RAD, Zahra , KUZMIN, Mikhail , PUNKKINEN, Marko , LAHTI, Antti , KOKKO, Kalevi
申请人： Turun yliopisto
申请人地址： FI 20014 Turun yliopisto Yliopistonmäki
代理机构： Papula Oy
优先权： FI20195341 20190426
国际公布： WO2020216992 20201029
主分类号： H01L21/02
IPC分类号： H01L21/02

信息查询

Global Dossier Espacenet

IPC分类:

H	电学
H01	基本电气元件
H01L	半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中使用的半导体器件见应用相关的小类）
H01L21/00	专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/02	.半导体器件或其部件的制造或处理