公开(公告)号：EP4128323A1

公开(公告)日：2023-02-08

申请号：EP21717136.2

申请日：2021-03-29

申请人： Turun yliopisto

发明人： LAUKKANEN, Pekka ,  JAHANSHAH RAD, Zahra ,  LEHTIÖ, Juha-Pekka ,  KUZMIN, Mikhail ,  PUNKKINEN, Marko ,  KOKKO, Kalevi

IPC分类号： H01L21/02

公开(公告)号：EP4360121A1

公开(公告)日：2024-05-01

申请号：EP22740936.4

申请日：2022-06-22

申请人： Turun yliopisto

发明人： JAHANSHAH RAD, Zahra ,  LAUKKANEN, Pekka ,  LEHTIÖ, Juha-Pekka ,  PUNKKINEN, Marko ,  KOKKO, Kalevi

IPC分类号： H01L21/02

CPC分类号： H01L21/02565 ,  H01L21/02601 ,  H01L21/0259 ,  H01L21/02395 ,  H01L21/02658 ,  H01L21/02628

公开(公告)号：EP3959743A1

公开(公告)日：2022-03-02

申请号：EP20724885.7

申请日：2020-04-23

申请人： Turun yliopisto

发明人： LAUKKANEN, Pekka ,  LEHTIÖ, Juha-Pekka ,  JAHANSHAH RAD, Zahra ,  KUZMIN, Mikhail ,  PUNKKINEN, Marko ,  LAHTI, Antti ,  KOKKO, Kalevi

IPC分类号： H01L21/02