发明授权
- 专利标题： SELECTIVELY-PLIABLE CHEMICAL VAPOR DEPOSITION (CVD) DIAMOND OR OTHER HEAT SPREADER
-
申请号： EP20751804.4申请日： 2020-06-16
-
公开(公告)号： EP4004968B1公开(公告)日： 2023-10-18
- 发明人: ALTMAN, David, H. , TRULLI, Susan, C. , BAR-COHEN, Avram
- 专利权人： Raytheon Company
- 当前专利权人： Raytheon Company
- 当前专利权人地址： 870 Winter Street Waltham, MA 02451 US
- 代理机构： Dentons UK and Middle East LLP
- 优先权： US202016901922 20200615
- 国际公布： WO2021015890 20210128
- 主分类号： H01L21/48
- IPC分类号： H01L21/48 ; H01L23/367 ; H01L23/373 ; H01L23/42
公开/授权文献
信息查询
IPC分类:
