- 专利标题: STRUCTURE DE MICRO-INSERT EN SILICIUM
- 专利标题(英): STRUCTURE FOR SILICON MICRO-INSERT
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申请号: EP22152742.7申请日: 2022-01-21
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公开(公告)号: EP4033526A2公开(公告)日: 2022-07-27
- 发明人: LOURO, Mélanie , CAPLET, Stéphane
- 申请人: Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives
- 申请人地址: FR 75015 Paris Bâtiment le Ponant 25, rue Leblanc
- 代理机构: Brevalex
- 优先权: FR2100563 20210121
- 主分类号: H01L23/485
- IPC分类号: H01L23/485 ; H01L21/60 ; H01L33/62
摘要:
L'invention concerne un composant formant au moins connexion mécanique comportant un substrat (32), muni, sur une de ses faces (32a), d'au moins un micro-élément (20a-20e, 20b', 20 1 -20 4 ) de connexion en silicium, s'étendant selon une direction perpendiculaire à ladite face, entre un pied, proche du substrat, et un sommet, le sommet ayant une largeur (e t ), mesurée dans un plan parallèle au substrat, supérieure à la largeur (e p ) d'une partie de l'élément située entre la sommet et le pied et/ou le composant ayant une paroi latérale comportant une surface au moins en partie festonnée.
公开/授权文献
- EP4033526A3 STRUCTURE DE MICRO-INSERT EN SILICIUM 公开/授权日:2023-05-10
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