- 专利标题： AN ILLUMINATION SOURCE AND ASSOCIATED METROLOGY APPARATUS
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申请号： EP20781597.8申请日： 2020-10-07
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公开(公告)号： EP4045973A1公开(公告)日： 2022-08-24
- 发明人: JIN, Wenjie , LIN, Nan , PORTER, Christina Lynn , SMORENBURG, Petrus Wilhelmus
- 申请人： ASML Netherlands B.V.
- 申请人地址： NL 5500 AH Veldhoven P.O. Box 324
- 代理机构： ASML Netherlands B.V.
- 优先权： EP19216363 20191216
- 国际公布： WO2021073979 20210422
- 主分类号： G02F1/35
- IPC分类号： G02F1/35 ; G03F7/20
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