- 专利标题： METROLOGY DEVICE, SYSTEM AND METHOD
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申请号： EP21703834.8申请日： 2021-01-15
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公开(公告)号： EP4091407A1公开(公告)日： 2022-11-23
- 发明人: IMBODEN, Matthias
- 申请人： 4K-Mems Sàrl
- 申请人地址： CH 2072 St Blaise Rue des Lavannes 17
- 代理机构： Veni Swiss & European Patent Attorneys
- 优先权： CA3079443 20200424
- 国际公布： WO2021144464 20210722
- 主分类号： H05B3/14
- IPC分类号： H05B3/14 ; H05B3/00
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