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1.

发明公开
METROLOGY DEVICE, SYSTEM AND METHOD 审中-公开

公开(公告)号：EP4091407A1

公开(公告)日：2022-11-23

申请号：EP21703834.8

申请日：2021-01-15

申请人： 4K-Mems Sàrl

发明人： IMBODEN, Matthias

IPC分类号： H05B3/14 , H05B3/00

2.

发明公开
INFRARED RADIATOR ELEMENT AND METHODS 审中-公开

公开(公告)号：EP4091406A1

公开(公告)日：2022-11-23

申请号：EP21703833.0

申请日：2021-01-15

申请人： 4K-Mems Sàrl

发明人： IMBODEN, Matthias

IPC分类号： H05B3/14 , G01N27/14