- 专利标题： VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR OBERFLÄCHENBEHANDLUNG VON SUBSTRATEN
- 专利标题（英）： METHOD AND DEVICE FOR TREATING SURFACES ON SUBSTRATES
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申请号： EP22188480.2申请日： 2014-06-24
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公开(公告)号： EP4102544A1公开(公告)日： 2022-12-14
- 发明人: WIMPLINGER, Markus
- 申请人： EV Group E. Thallner GmbH
- 申请人地址： AT 4782 St. Florian am Inn DI Erich Thallner Strasse 1
- 代理机构： Schneider, Sascha
- 主分类号： H01L21/20
- IPC分类号： H01L21/20 ; C23C14/48 ; H01L21/762 ; H01L21/18
摘要：
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Oberflächenbehandlung.
Weiterhin betrifft die vorliegende Erfindung eine korrespondierende Vorrichtung.
Weiterhin betrifft die vorliegende Erfindung eine korrespondierende Vorrichtung.
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