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公开(公告)号：EP4361725A2
公开(公告)日：2024-05-01
申请号：EP24164507.6
申请日：2020-07-06
发明人： Dudus, Anna , Treiblmayr, Dominik
IPC分类号： G03F7/00
CPC分类号： G03F7/0002
摘要： Ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Erzeugen von Mikro- und/oder Nanostrukturen.
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公开(公告)号：EP4317520A2
公开(公告)日：2024-02-07
申请号：EP23216135.6
申请日：2020-04-20
发明人： Burggraf, Jürgen
IPC分类号： C23C14/02
摘要： Die Erfindung betrifft ein Trägersubstrat zum Übertragen einer Übertragungsschicht von dem Trägersubstrat auf ein Produktsubstrat und ein Verfahren zur Herstellung eines Trägersubstrates sowie ein Verfahren zum Übertragen einer Übertragungsschicht von dem Trägersubstrat auf das Produktsub strat.
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公开(公告)号：EP4300191A2
公开(公告)日：2024-01-03
申请号：EP23210236.8
申请日：2019-11-19
发明人： Khan, Jonas , Zorbach, Walter
IPC分类号： G03F7/00
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung (1) zum Prägen von Strukturen in eine Prägemasse, aufweisend einen Strukturstempel (4, 4',4", 4'", 4iv, 4v, 4vi, 4vii, 4viii) zum Prägen der Strukturen in die Prägemasse, dadurch gekennzeichnet, dass der Strukturstempel (4, 4',4", 4'", 4iv, 4v, 4vi, 4vii, 4viii) während des Prägens und des Trennens von der Prägemasse unter einer konstanten lokalen Dehnung haltbar ist, wobei der Strukturstempel (4, 4',4", 4'", 4iv, 4v, 4vi, 4vii, 4viii) durch einen Träger verstärkt ist.
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公开(公告)号：EP4055624A1
公开(公告)日：2022-09-14
申请号：EP19805159.1
申请日：2019-11-08
发明人： BURGGRAF, Jürgen
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/683 , H01L21/18
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公开(公告)号：EP3759424A1
公开(公告)日：2021-01-06
申请号：EP18712511.7
申请日：2018-02-27
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公开(公告)号：EP3504733B1
公开(公告)日：2020-09-23
申请号：EP16774860.7
申请日：2016-08-29
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公开(公告)号：EP3682470A1
公开(公告)日：2020-07-22
申请号：EP17765181.7
申请日：2017-09-12
IPC分类号： H01L21/683 , B23K26/70
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公开(公告)号：EP3671820A1
公开(公告)日：2020-06-24
申请号：EP20153393.2
申请日：2014-12-23
IPC分类号： H01L21/67
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Vorfixierung von Substraten (1, 2).
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