- 专利标题： ORGANOAMINO-FUNCTIONALIZED CYCLIC OLIGOSILOXANES FOR DEPOSITION OF SILICON-CONTAINING FILMS
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申请号： EP20928695.4申请日： 2020-09-25
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公开(公告)号： EP4110968A1公开(公告)日： 2023-01-04
- 发明人: MACDONALD, Matthew R. , LEHMANN, John J.
- 申请人： Versum Materials US, LLC
- 申请人地址： US Tempe, AZ 85284 8555 S. River Parkway
- 代理机构： Sommer, Andrea
- 优先权： US202017030187 20200923
- 国际公布： WO2021201910 20211007
- 主分类号： C23C16/40
- IPC分类号： C23C16/40 ; C23C16/455 ; C07F7/21
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