发明公开
- 专利标题： DISPENSING APPARATUS
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申请号： EP21715998.7申请日： 2021-03-02
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公开(公告)号： EP4115444A1公开(公告)日： 2023-01-11
- 发明人: LIU, Guohua
- 申请人： Illinois Tool Works, Inc.
- 申请人地址： US Glenview, Illinois 60025 155 Harlem Avenue
- 代理机构： HGF
- 优先权： CN202010139401 20200303
- 国际公布： WO2021178436 20210910
- 主分类号： H01L21/67
- IPC分类号： H01L21/67 ; C23C16/455 ; G03F7/20 ; H05K13/00 ; H01L21/677
公开/授权文献
- EP4115444B1 DISPENSING APPARATUS 公开/授权日：2024-05-01
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IPC分类:
