- 专利标题： CONFIGURATION OF AN IMPUTER MODEL
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申请号： EP21712845.3申请日： 2021-03-22
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公开(公告)号： EP4139749A1公开(公告)日： 2023-03-01
- 发明人: SAHRAEIAN, Reza , BASTANI, Vahid , GKOROU, Dimitra , DOS SANTOS GUZELLA, Thiago
- 申请人： ASML Netherlands B.V.
- 申请人地址： NL 5500 AH Veldhoven P.O. Box 324
- 代理机构： ASML Netherlands B.V.
- 优先权： EP20187387 20200723
- 国际公布： WO2021213746 20211028
- 主分类号： G03F7/20
- IPC分类号： G03F7/20 ; G06N5/04
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