发明公开
- 专利标题： OBJECT HOLDER, ELECTROSTATIC SHEET AND METHOD FOR MAKING AN ELECTROSTATIC SHEET
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申请号： EP21731762.7申请日： 2021-06-09
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公开(公告)号： EP4165472A1公开(公告)日： 2023-04-19
- 发明人: VAN DE VEN, Bastiaan, Lambertus, Wilhelmus, Marinus , VAN BERKEL, Koos , VAN DE KERKHOF, Marcus, Adrianus , HAMELINCK, Roger, Franciscus, Mattheus, Maria , SHERVIN, Shahab , VERSCHUREN, Marinus, Augustinus, Christiaan , ENGELEN, Johannes, Bernardus, Charles , KRUIZINGA, Matthias , UITTERDIJK, Tammo , GALAKTIONOV, Oleksiy, Sergiyovich , JANSSEN, Kjeld, Gertrudus, Hendrikus , PIJNENBURG, Johannes, Adrianus, Cornelis, Maria , VAN DELFT, Peter
- 申请人： ASML Netherlands B.V. , ASML Holding N.V.
- 申请人地址： NL 5500 AH Veldhoven P.O. Box 324; NL 5500 AH Veldhoven P.O. Box 324
- 代理机构： ASML Netherlands B.V.
- 优先权： EP20179524 20200611
- 国际公布： WO2021250074 20211216
- 主分类号： G03F7/20
- IPC分类号： G03F7/20
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