- 专利标题： PVD-VERFAHREN UND VORRICHTUNG HIERFÜR
- 专利标题（英）： PVD PROCESS AND DEVICE THEREFOR
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申请号： EP21769093.2申请日： 2021-08-23
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公开(公告)号： EP4200459A1公开(公告)日： 2023-06-28
- 发明人: ESSL, Werner , ECKER, Werner , REISS, Georg , KOLNBERGER, Siegfried , STECHAUNER, Georg , VANDEN BRANDE, Pierre
- 申请人： voestalpine Stahl GmbH , Materials Center Leoben Forschung GmbH
- 申请人地址： AT 4020 Linz voestalpine-Straße 3; AT 8700 Leoben Roseggerstrasse 12
- 代理机构： HGF
- 优先权： DE102020121923 20200821
- 国际公布： WO2022038296 20220224
- 主分类号： C23C14/54
- IPC分类号： C23C14/54 ; C23C14/56 ; C23C14/16 ; C23C14/24
公开/授权文献
- EP4200459B1 PVD-VERFAHREN UND VORRICHTUNG HIERFÜR 公开/授权日：2024-05-01
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