发明公开
- 专利标题： THERMAL CONDUCTIVITY GAUGE
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申请号： EP21815859.0申请日： 2021-11-03
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公开(公告)号： EP4244590A1公开(公告)日： 2023-09-20
- 发明人: BRUCKER, Gerardo A. , SWINNEY, Timothy C.
- 申请人： MKS Instruments, Inc.
- 申请人地址： US Andover, MA 01810 2 Tech Drive, Suite 201
- 代理机构： J A Kemp LLP
- 优先权： US202063114287 P 20201116
- 国际公布： WO2022104316 20220519
- 主分类号： G01L11/00
- IPC分类号： G01L11/00 ; G01L21/12
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