- 专利标题： PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UNE STRUCTURE MULTICOUCHE
- 专利标题（英）： METHOD FOR PRODUCING A MULTILAYER STRUCTURE
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申请号： EP22722302.1申请日： 2022-04-12
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公开(公告)号： EP4324020A1公开(公告)日： 2024-02-21
- 发明人: ROUMANIE, Marilyne , NAVONE, Christelle , QUENARD, Sébastien , LANDRU, Didier , VEYTIZOU, Christelle
- 申请人： COMMISSARIAT À L'ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIES ALTERNATIVES , SOITEC
- 申请人地址： FR 75015 Paris Bat Le Ponant 25 rue Leblanc; FR 38190 Bernin Parc Technologique des Fontaines Chemin des Franques
- 代理机构： Germain Maureau
- 优先权： FR2103986 20210416
- 国际公布： WO2022219283 20221020
- 主分类号： H01L21/18
- IPC分类号： H01L21/18 ; H01L21/02 ; H01L21/20
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