- 专利标题： METHOD FOR OPERATING A MULTI-BEAM PARTICLE MICROSCOPE WITH FAST CLOSED-LOOP BEAM CURRENT CONTROL, COMPUTER PROGRAM PRODUCT AND MULTI-BEAM PARTICLE MICROSCOPE
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申请号： EP22743739.9申请日： 2022-07-06
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公开(公告)号： EP4374411A1公开(公告)日： 2024-05-29
- 发明人: MUELLER, Ingo , KAUFMANN, Nicolas , BEHNKE, Michael , FRITZ, Hans
- 申请人： Carl Zeiss MultiSEM GmbH
- 申请人地址： DE 73447 Oberkochen Carl-Zeiss-Strasse 22
- 专利权人： Carl Zeiss MultiSEM GmbH
- 当前专利权人： Carl Zeiss MultiSEM GmbH
- 当前专利权人地址： DE 73447 Oberkochen Carl-Zeiss-Strasse 22
- 代理机构： Tesch-Biedermann, Carmen
- 优先权： DE 102021118561 2021.07.19
- 国际申请： EP2022025312 2022.07.06
- 国际公布： WO2023001402 2023.01.26
- 主分类号： H01J37/09
- IPC分类号： H01J37/09 ; H01J37/244 ; H01J37/28
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