专利检索 ap:("Carl Zeiss MultiSEM GmbH") AND inv:"KAUFMANN, Nicolas" 第 1 页

1.

发明公开
MULTI-BEAM DIGITAL SCAN AND IMAGE ACQUISITION 审中-公开

公开(公告)号：EP4100986A1

公开(公告)日：2022-12-14

申请号：EP21703394.3

申请日：2021-02-01

申请人： Carl Zeiss MultiSEM GmbH

发明人： KAUFMANN, Nicolas , ADOLF, Andreas , WIECZOREK, Volker , RIEDESEL, Christof , KÄMMER, Nico , SCHUBERT, Stefan

IPC分类号： H01J37/28 , H01J37/22 , H01J37/26

2.

发明公开
METHOD FOR OPERATING A MULTI-BEAM PARTICLE MICROSCOPE WITH FAST CLOSED-LOOP BEAM CURRENT CONTROL, COMPUTER PROGRAM PRODUCT AND MULTI-BEAM PARTICLE MICROSCOPE 审中-实审

公开(公告)号：EP4374411A1

公开(公告)日：2024-05-29

申请号：EP22743739.9

申请日：2022-07-06

申请人： Carl Zeiss MultiSEM GmbH

发明人： MUELLER, Ingo , KAUFMANN, Nicolas , BEHNKE, Michael , FRITZ, Hans

IPC分类号： H01J37/09 , H01J37/244 , H01J37/28

CPC分类号： H01J37/28 , H01J37/244 , H01J2237/2453520130101 , H01J2237/3047220130101 , H01J37/09 , H01J2237/045320130101 , H01J2237/2449520130101

3.

发明公开
HIGH THROUGHPUT MULTI-BEAM CHARGED PARTICLE INSPECTION SYSTEM WITH DYNAMIC CONTROL 审中-公开

公开(公告)号：EP4158674A1

公开(公告)日：2023-04-05

申请号：EP21722823.8

申请日：2021-04-29

申请人： Carl Zeiss MultiSEM GmbH

发明人： ZEIDLER, Dirk , BIHR, Ulrich , ADOLF, Andreas , KAUFMANN, Nicolas , MÜLLER, Ingo , BEHNKE, Michael

IPC分类号： H01J37/28 , H01J37/26 , H01J37/20