Es wird ein Verfahren zur Ermittlung von Prozessparametern (P4, P5) einer Prozessvorrichtung (10) angegeben, bei dem die Prozessvorrichtung (10) für einen automatisierten Bearbeitungsprozess an einem Bauteil (30) ausgelegt ist, bei welchem wenigstens ein Prozessmedium (50) eingesetzt wird. Das Verfahren umfasst die folgenden Schritte:
a) Festlegen eines Bauteil-Parametersatzes (P3) für das zu bearbeitende Bauteil (30),
b) Festlegen eines Bearbeitungs-Parametersatzes (P4) für den durchzuführenden Bearbeitungsprozess,
c) Bereitstellen eines Simulationsmodells (M) für den Bearbeitungsprozess, welches wenigstens eine Kenngröße (K) des Bearbeitungsprozesses in Abhängigkeit von dem Bauteil-Parametersatz (P3), dem Bearbeitungs-Parametersatz (P4) und einem variablen Medien-Parametersatz (P5) für das einzusetzende Prozessmedium (50) beschreibt,
d) Festlegen eines bei dem Bearbeitungsprozess einzuhaltenden Grenzwerts (K_lim) für eine ausgewählte Kenngröße (K),
e) Simulation des Bearbeitungsprozesses unter Verwendung des Simulationsmodells (M) in mehreren Teilschritten ei) und
f) Einstellung des optimierten Medien-Parametersatzes (P5_opt) für die Durchführung des automatisierten Bearbeitungsprozesses in der Prozessvorrichtung (10).
Hierbei werden bei den einzelnen Teilschritten ei) jeweils unterschiedliche Medien-Parametersätze (P5) gewählt, wodurch insgesamt ein optimierter Medien-Parametersatz (P5_opt) ermittelt wird, bei welchem der Grenzwert (K_lim) für die ausgewählte Kenngröße (K) eingehalten wird. Weiterhin wird ein entsprechendes Bearbeitungsverfahren sowie ein Computerprogrammprodukt und eine Vorrichtung, welche zur Ausführung des jeweiligen Verfahrens ausgelegt sind, angegeben.