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JAUGE DE DEFORMATION
摘要:
La présente description concerne un dispositif (1) comprenant : un substrat ; une première couche (102) reposant sur le substrat, la première couche comprenant une première partie (102A) et une deuxième partie (102B) mobiles l'une par rapport à l'autre ; et un résonateur optique annulaire (110) défini dans une deuxième couche. Le résonateur (110) comprend une première portion (110A) fixée à un premier plot d'ancrage (114A) connecté à la première partie (102A) de la première couche (102) et une deuxième portion (110B) fixée à un deuxième plot d'ancrage (114B) connecté à la deuxième partie (102B) de la première couche (102).
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