发明公开
- 专利标题: JAUGE DE DEFORMATION
-
申请号: EP23212689.6申请日: 2023-11-28
-
公开(公告)号: EP4382875A1公开(公告)日: 2024-06-12
- 发明人: JOURDAN, Guillaume , GELY, Marc
- 申请人: Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives
- 申请人地址: FR 75015 Paris Bâtiment "Le Ponant D" 25 rue Leblanc
- 专利权人: Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives
- 当前专利权人: Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives
- 当前专利权人地址: FR 75015 Paris Bâtiment "Le Ponant D" 25 rue Leblanc
- 代理机构: Cabinet Beaumont
- 优先权: FR 12957 2022.12.08
- 主分类号: G01L1/24
- IPC分类号: G01L1/24
摘要:
La présente description concerne un dispositif (1) comprenant : un substrat ; une première couche (102) reposant sur le substrat, la première couche comprenant une première partie (102A) et une deuxième partie (102B) mobiles l'une par rapport à l'autre ; et un résonateur optique annulaire (110) défini dans une deuxième couche. Le résonateur (110) comprend une première portion (110A) fixée à un premier plot d'ancrage (114A) connecté à la première partie (102A) de la première couche (102) et une deuxième portion (110B) fixée à un deuxième plot d'ancrage (114B) connecté à la deuxième partie (102B) de la première couche (102).
信息查询