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公开(公告)号：EP4382875A1
公开(公告)日：2024-06-12
申请号：EP23212689.6
申请日：2023-11-28
发明人： JOURDAN, Guillaume , GELY, Marc
IPC分类号： G01L1/24
CPC分类号： G01L1/24
摘要： La présente description concerne un dispositif (1) comprenant : un substrat ; une première couche (102) reposant sur le substrat, la première couche comprenant une première partie (102A) et une deuxième partie (102B) mobiles l'une par rapport à l'autre ; et un résonateur optique annulaire (110) défini dans une deuxième couche. Le résonateur (110) comprend une première portion (110A) fixée à un premier plot d'ancrage (114A) connecté à la première partie (102A) de la première couche (102) et une deuxième portion (110B) fixée à un deuxième plot d'ancrage (114B) connecté à la deuxième partie (102B) de la première couche (102).
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公开(公告)号：EP4382980A1
公开(公告)日：2024-06-12
申请号：EP23212889.2
申请日：2023-11-29
发明人： JOURDAN, Guillaume , GELY, Marc
IPC分类号： G02B6/293 , G01P15/093 , G01P15/097
CPC分类号： G02B6/29341 , G01P15/093 , G01P15/097
摘要： La présente description concerne un dispositif photonique (1) comprenant un substrat (100) et une structure (102). La structure (102) comprend un support (104), un résonateur optique (124) fixé au support (104) et une portion (116) d'un guide d'onde (118) couplée optiquement au résonateur (124) et fixée au support (104). La structure (102) est suspendue au-dessus du substrat (100). La portion (116) du guide d'onde (118) et le résonateur (124) sont disposés d'un même côté du support (104). Le support (104) est une première partie d'une couche (106). Une deuxième partie (112) de la couche (106) est fixée au substrat (100). Le support (104) est couplé mécaniquement à la deuxième partie (112) de la couche (106).
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