- 专利标题: DISPOSITIF PHOTONIQUE ISOLE MECANIQUEMENT D'UN SUBSTRAT
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申请号: EP23212889.2申请日: 2023-11-29
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公开(公告)号: EP4382980A1公开(公告)日: 2024-06-12
- 发明人: JOURDAN, Guillaume , GELY, Marc
- 申请人: Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives
- 申请人地址: FR 75015 Paris Bâtiment "Le Ponant D" 25 rue Leblanc
- 专利权人: Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives
- 当前专利权人: Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives
- 当前专利权人地址: FR 75015 Paris Bâtiment "Le Ponant D" 25 rue Leblanc
- 代理机构: Cabinet Beaumont
- 优先权: FR 12954 2022.12.08
- 主分类号: G02B6/293
- IPC分类号: G02B6/293 ; G01P15/093 ; G01P15/097
摘要:
La présente description concerne un dispositif photonique (1) comprenant un substrat (100) et une structure (102). La structure (102) comprend un support (104), un résonateur optique (124) fixé au support (104) et une portion (116) d'un guide d'onde (118) couplée optiquement au résonateur (124) et fixée au support (104). La structure (102) est suspendue au-dessus du substrat (100). La portion (116) du guide d'onde (118) et le résonateur (124) sont disposés d'un même côté du support (104). Le support (104) est une première partie d'une couche (106). Une deuxième partie (112) de la couche (106) est fixée au substrat (100). Le support (104) est couplé mécaniquement à la deuxième partie (112) de la couche (106).
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