DISPOSITIF PHOTONIQUE ISOLE MECANIQUEMENT D'UN SUBSTRAT
摘要:
La présente description concerne un dispositif photonique (1) comprenant un substrat (100) et une structure (102). La structure (102) comprend un support (104), un résonateur optique (124) fixé au support (104) et une portion (116) d'un guide d'onde (118) couplée optiquement au résonateur (124) et fixée au support (104). La structure (102) est suspendue au-dessus du substrat (100). La portion (116) du guide d'onde (118) et le résonateur (124) sont disposés d'un même côté du support (104). Le support (104) est une première partie d'une couche (106). Une deuxième partie (112) de la couche (106) est fixée au substrat (100). Le support (104) est couplé mécaniquement à la deuxième partie (112) de la couche (106).
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