- 专利标题： ARTICLES HAVING REMOVABLE COATINGS AND RELATED METHODS
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申请号： EP22877168.9申请日： 2022-09-22
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公开(公告)号： EP4409052A1公开(公告)日： 2024-08-07
- 发明人: WALDFRIED, Carlo
- 申请人： Entegris, Inc.
- 申请人地址： US Billerica, MA 01821 129 Concord Road
- 专利权人： Entegris, Inc.
- 当前专利权人： Entegris, Inc.
- 当前专利权人地址： US Billerica, MA 01821 129 Concord Road
- 代理机构： Greaves Brewster LLP
- 优先权： US 2163250475P 2021.09.30
- 国际申请： US2022044439 2022.09.22
- 国际公布： WO2023055653 2023.04.06
- 主分类号： C23C16/56
- IPC分类号： C23C16/56 ; C23C16/455 ; C23C16/40 ; C23C16/44 ; C23C14/58 ; C04B41/53
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