发明公开
- 专利标题： APPARATUSES AND SYSTEMS FOR AMMONIA/CHLORINE CHEMISTRY SEMICONDUCTOR PROCESSING
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申请号： EP22881931.4申请日： 2022-10-07
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公开(公告)号： EP4416755A1公开(公告)日： 2024-08-21
- 发明人: STRENG, Bradley Taylor , DURBIN, Aaron , MILLER, Aaron Blake , BATZER, Rachel E. , IADANZA, Christopher Nicholas
- 申请人： LAM Research Corporation
- 申请人地址： US Fremont, CA 94538 4650 Cushing Parkway
- 专利权人： LAM Research Corporation
- 当前专利权人： LAM Research Corporation
- 当前专利权人地址： US Fremont, CA 94538 4650 Cushing Parkway
- 代理机构： Mewburn Ellis LLP
- 优先权： US 2163262444P 2021.10.12
- 国际申请： US2022077818 2022.10.07
- 国际公布： WO2023064720 2023.04.20
- 主分类号： H01J37/32
- IPC分类号： H01J37/32
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